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且相关产品需求有望随半导体产业技术迭代而进

  昨日,上海证券交易所科创板股票上市委员会2019年第1次审议会议结果公告,首批三家企业全部获得审核通过。其中张江企业安集微电子科技(以下简称“安集”)就位列其中。

  2010年,张江科投就参与安集微电子融资,近十年间,一路陪伴企业共同成长。

  成立于2006年的安集是目前国内唯一实现集成电路领域高端化学机械抛光液量产的高新技术企业,产品包括不同系列的化学机械抛光液和光刻胶去除剂,主要应用于集成电路制造和先进封装领域。

  化学机械研磨(CMP)被认为是最精密、最伤成本,同时也是绝不允许出错的半导体制造程序之一,其中最关键的材料就是半导体化学机械研磨液。过往这类关键材料全都掌握在如陶氏化学这类外商手中,地位难以撼动,对不少半导体晶圆厂来说,更不太可能替换材料供应商,因为一个闪失就可能大大影响良率,损失难以估计。

  被称为半导体界花木兰的王淑敏,又是如何带领安集,在外商长期把持的半导体材料领域杀出重围,拼出让国际大厂不敢轻视的硬实力?

  王淑敏称自己是“书本上定义的海归派”。1986年郑州大学化学系毕业,读了两年南开大学硕士班,便到美国名校莱斯大学攻读化学博士,毕业后便加入IBM,后来又踏入半导体材料领域,担任嘉柏微电子亚洲技术总监。

  当时,王淑敏时常往返美国及亚洲,发现亚洲半导体材料供应链远远不足,看到商机的王淑敏毅然于2004年返回大陆创业,从第一天就想办世界级的公司,做半导体制程的高端研磨液。

  初期开发客户时,市场相当残酷,许多不明真相的国外客户开始就断定来自中国的都是山寨货,甚至最初连大陆的前几大晶圆代工厂中芯国际、华虹宏力,都保持怀疑态度,“人家可能就测验三个项目,我们则要反覆验证不知多少次,要得到别人的认可,就像要跨过高得像墙一样的门槛般艰难。”王淑敏回忆说。

  第一步,要先提供数据审核,在还没客户的状况下,就必须先想办法生成在实际半导体制程中,化学机械研磨设备上实验的数据报告。通过书面审查,客户才愿意小量尝试,程序非常严苛。小量验证通过后,才能进入更正式的检验程序。通常,一家新进材料品牌要名列合格供应商名单,最少一年半载,甚至更长。

  王淑敏形容,这些验证程序,就跟奥运会比赛一样,有初筛选、预赛、复赛、半决赛、总决赛……需要一关一关过。

  然而,机会只会留给准备好的人。一次,一个大客户因为国外材料大厂供货出问题,生产线又不能停止,客户便尝试用当时作为“备胎”的安集产品,没想到一次应急事件,却让客户刮目相看,此事后来也在半导体界传为美谈。“而这是硬碰硬拼出来的!”王淑敏回忆。

  虽然不少化学机械研磨液专利早在2000年时就卡死在外商手中,但是因为制程快速变迁,旧专利已经不符合时代需求,这便给新进厂商大显身手的机会。随着摩尔定律的演进,晶圆制造对化学机械抛光液提出了更高的要求,越先进的制程,抛光步骤越多,对抛光液的要求也越高,不同种类的芯片需要匹配不同的“专用”抛光材料,安集凭借硬实力在外商垄断市场中撕开一道口子,实现了进口替代,使中国在该领域拥有了自主供应力。

  王淑敏和安集经过多年努力,在2017年成功研发出更高品质的研磨液,这不仅给客户带来高达60%的成本降低,也为中国大陆半导体的崛起奠定了基础。

  目前,安集已完成铜及铜阻挡层等不同系列化学机械抛光液产品的研发及产业化,并且拥有完全自主知识产权,部分产品技术水平处于国际先进地位。安集微电子化学机械抛光液已在130-28mm技术节点实现规模化销售,主要应用于国内8英寸和12英寸主流晶圆产线nm技术节点产品已进入客户认证阶段,10-7nm技术节点产品正在积极研发中。

  截至2018年12月31日,安集微电子拥有授权发明专利190项,覆盖中国大陆、中国台湾、美国、新加坡、韩国等多个国家和地区。公司作为项目责任单位完成了“90-65nm集成电路关键抛光材料研究与产化”和“45-28nm集成电路关键抛光材料研发与产业化”两个国家“02专项”项目,目前作为课题单位负责“高密度封装TSV抛光液和清洗液研发与产业化”和“CMP抛光液及配套材料技术平台和产品系列”两个国家“02专项”项目。

  2018年国内半导体材料市场规模为85亿美元,但国产化率仅22%,仍有较大的进口替代空间。具体到安集所在的CMP抛光材料及光刻胶辅助材料,2018年全球/国内市场空间分别为18.5亿美元/2.8亿美元、21.5亿美元/3.1亿美元,且相关产品需求有望随半导体产业技术迭代而进一步增长。

  于此同时,Cabot Microelectronics 全球抛光液市场占有率已从 2000 年约 80%下降至2017年约 35%,未来全球抛光液市场正向多元化发展,地区本土化自给率将大幅提升。

  目前,安集已成为中芯国际、长江存储等芯片制造商的主流供应商,并成为台积电、台联电等芯片制造商的合格供应商。未来,安集在国产半导体领域或将发挥不可替代的作用。返回搜狐,查看更多

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